詳細介紹
CSE系列團簇中心轉(zhuǎn)運平臺1、產(chǎn)品用途
提供定制化的Cluster團簇中心轉(zhuǎn)運平臺,用于將產(chǎn)品或襯底在各工藝腔室之間進行轉(zhuǎn)運,以便客戶進行二次開發(fā)。
2、技術參數(shù)
基片尺寸 | 可選:4”、6”、8"、12" |
工位數(shù) | 可選:4工位、6工位、8工位 |
真空機械手 | 選配 |
工藝反應腔體 | 可選:Sputtering/PECVD/Etch/Evaporation/Plasma Clean/Annealing |
腔體材料 | 鋁/不銹鋼 |
控制軟件 | 定制選配 |
CSE系列團簇中心轉(zhuǎn)運平臺
成都華聚科技有限公司位于成都市經(jīng)濟技術開發(fā)區(qū)(龍泉驛),是一家以自動化設備技術為核心,致力于數(shù)字化智能制造裝備的高科技企業(yè)。
公司與國內(nèi)外多個研究所、高校和企業(yè)*合作,始終以超前的科技和強大的創(chuàng)新能力,服務于客戶。
公司主營業(yè)務覆蓋:Cluster團簇式半導體工藝設備、PECVD設備、PVD設備、CVD設備、核心部件(機械手、加熱器、Cluster團簇中心傳送平臺)、定制化真空設備、機電一體自動化服務(機電物聯(lián)網(wǎng)服務)等一系列的產(chǎn)品或解決方案。
公司始終以“技術體現(xiàn)我們的智慧,質(zhì)量體現(xiàn)我們的尊嚴” 作為公司經(jīng)營理念,同時加強售前售后服務,我們始終以“質(zhì)量良好、服務優(yōu)先、技術*”作為追求目標。
公司匯聚了眾多相關領域的人才,針對客戶的產(chǎn)品特點提供專業(yè)解決方案,更能以優(yōu)質(zhì)的標準及非標產(chǎn)品超越客戶的期望,深受廣大客戶的認可和贊譽!
公司現(xiàn)有26人專業(yè)團隊,并另聘請研究員1人,大學材料教授和等離子物理團隊6人,高級工程師2人,涵蓋真空工程、材料科研、等離子物理,器件物理、化管理等方面的各種人才。
Chengdu Huaju Technology was founded in 2016, the registration place is located in Chengdu economic and technological development zone.Our company concentrates on R&D , manufacture of the high-end automatic equipment as well as the vacuum application equipment of the micro-nano materials and devices, and we are the leading company of the field of vacuum. In addition, we cooperate with many scientific research institutes(colleges and universities).