河南*廚房空氣凈化車間裝修鄭州市食品廠

　一、人流

　　首先是人員凈化;電子廠凈化車間入口宜設(shè)空氣吹淋室。當不設(shè)空氣吹淋室時，應設(shè)氣閘室;單人空氣吹淋室，應按班人數(shù)30人設(shè)一臺。潔凈室人員超過5人時，空氣吹淋室一側(cè)應設(shè)單向旁通門;空氣吹淋室的進、出門不得同時開啟，應采取連鎖控制措施;空氣潔凈度等級為5級或嚴于5級的垂直單向流潔凈室，宜設(shè)氣閘室。

　　二、物流

　　電子廠凈化車間內(nèi)的設(shè)備和物料出入口，應獨立設(shè)置，并應根據(jù)設(shè)備和物料的特征、性質(zhì)、形狀等設(shè)置凈化用室及相應的物凈設(shè)施;物料凈化用室與潔凈室之間應設(shè)置氣閘室或傳遞窗。

　　三、靜壓差

　　不同等級的電子廠凈化車間之間的靜壓差應大于等于5Pa;潔凈室與非潔凈室之間的靜壓差應大于5Pa;潔凈室與室外的靜壓差應大于10Pa

一、潔凈室之定義

　　潔凈室(Clean Room)，亦稱為無塵室或清凈室。它是污染控制的基礎(chǔ)。沒有潔凈室，污染敏感零件不可能批量生產(chǎn)。在 FED-STD-2里面，潔凈室被定義為具備空氣過濾、分配、優(yōu)化、構(gòu)造材料和裝置的房間，其中特定的規(guī)則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度，從而達到適當?shù)奈⒘崈舳燃墑e。

　　潔凈室是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化，其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。

　　潔凈室主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱之為潔凈室。按照慣例，無塵凈化級別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵并非*沒有一點灰塵，而是控制在一個非常微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微，但是對于光學構(gòu)造而言，哪怕是一點點的灰塵都會產(chǎn)生非常大的負面影響，所以在光學構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上，無塵是必然的要求。

　　如表所示，每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個以下，就達到了無塵標準的*。目前應用在芯片級生產(chǎn)加工的無塵標準對于灰塵的要求高于*，這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。微塵數(shù)量被嚴格控制在每立方米1000個以內(nèi)，這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級別。

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