熱反射法薄膜導(dǎo)熱儀 NanoTR / PicoTRNano TR熱反射法薄膜導(dǎo)熱系數(shù)測(cè)量?jī)x采用熱反射法精確可靠地測(cè)定薄膜的熱擴(kuò)散系數(shù)，是目前市場(chǎng)上*精確的的薄膜導(dǎo)熱測(cè)量方法，滿足不同樣品的測(cè)試需求。

詳細(xì)介紹

熱反射法薄膜導(dǎo)熱儀 NanoTR / PicoTR

測(cè)量原理

熱反射（Thermo-Reflectance）方法基于超高速激光閃射系統(tǒng)，可測(cè)量基片上金屬、陶瓷、聚合物薄膜的熱物性參數(shù)，如熱擴(kuò)散系數(shù)（Thermal Diffusivity）、熱導(dǎo)率（Thermal Conductivity）、吸熱系數(shù)（Thermal Effusivity）和界面熱阻。

由于激光閃射時(shí)間僅為納秒（ns）量級(jí)，甚至可達(dá)到皮秒（ps）量級(jí)，此系統(tǒng)可測(cè)量厚度低至10nm的薄膜。同時(shí)，系統(tǒng)提供不同的測(cè)量模式，以適應(yīng)于不同的基片情況（透明/不透明）。

該方法符合標(biāo)準(zhǔn)：
JIS R 1689：通過脈沖激光熱反射方法測(cè)量精細(xì)陶瓷薄膜的熱擴(kuò)散系數(shù)；
JIS R 1690：陶瓷薄膜和金屬薄膜界面熱阻的測(cè)量方法。

NanoTR / PicoTR - 技術(shù)參數(shù)

技術(shù)參數(shù)	NanoTR	PicoTR
溫度范圍	RT，RT … 300°C（選件）	RT，RT … 500°C（選件）
真空度	N/A	10^-6 mbar（選件）
測(cè)量模式	RF/FF	RF/FF
樣品尺寸	10x10 ... 20x20 mm	10x10 ... 20x20 mm
薄膜厚度	RF：金屬：1 ... 20µm 陶瓷：300nm ... 5µm 聚合物：30nm ... 2µm FF：> 1µm	RF：金屬：100nm ... 900nm 陶瓷：10nm ... 300nm 聚合物：10nm ... 100nm FF：> 100nm
基片厚度	< 1mm	< 1mm
熱擴(kuò)散溫升時(shí)間	10ns ... 10µs	10ps ... 10ns
熱擴(kuò)散系數(shù)	0.01…1000 mm²/s	0.01…1000 mm²/s
測(cè)量精度	5%(RF), 10%(FF)	5%(RF), 10%(FF)
操作系統(tǒng)	Windows 7	Windows 7