ICP-MS等離子體質(zhì)譜所用電離源是感應(yīng)耦合等離子體(ICP)，它與原子發(fā)射光譜儀所用的ICP是一樣的，其主體是一個(gè)由三層石英套管組成的炬管，炬管上端繞有負(fù)載線圈，三層管從里到外分別通載氣，輔助氣和冷卻氣，負(fù)載線圈由高頻電源耦合供電，產(chǎn)生垂直于線圈平面的磁場(chǎng)。
如果通過高頻裝置使氬氣電離，則氬離子和電子在電磁場(chǎng)作用下又會(huì)與其它氬原子碰撞產(chǎn)生更多的離子和電子，形成渦流。
強(qiáng)大的電流高溫，瞬間使氬氣形成溫度可達(dá)10000k的等離子焰炬。樣品由載氣帶入等離子體焰炬會(huì)發(fā)生蒸發(fā)、分解、激發(fā)和電離，輔助氣用來維持等離子體，需要量大約為1 L/min。
冷卻氣以切線方向引入外管，產(chǎn)生螺旋形氣流，使負(fù)載線圈處外管的內(nèi)壁得到冷卻，冷卻氣流量為10-15 L/min。
下面讓我們來了解一下ICP-MS等離子體質(zhì)譜的工作條件吧
1、ICP
主要包括ICP功率，載氣、輔助氣和冷卻氣流量。樣品提升量等，ICP功率一般為1KW左右，冷卻氣流量為15L/min，輔助氣流量和載氣流量約為1L/min，調(diào)節(jié)載氣流量會(huì)影響測(cè)量靈敏度。樣品提升量為1ml/min。
2、接口裝置
ICP產(chǎn)生的離子通過接口裝置進(jìn)入質(zhì)譜儀，接口裝置的主要參數(shù)是采樣深度，也即采樣錐孔與焰炬的距離，要調(diào)整兩個(gè)錐孔的距離和對(duì)中，同時(shí)要調(diào)整透鏡電壓，使離子有很好的聚焦。
3、質(zhì)譜儀
主要是設(shè)置掃描的范圍。為了減少空氣中成分的干擾，一般要避免采集N2、O2、Ar等離子，進(jìn)行定量分析時(shí)，質(zhì)譜掃描要挑選沒有其它元素及氧化物干擾的質(zhì)量。
4、同時(shí)還要有合適的倍增器電壓。
事實(shí)上，在每次分析之前，需要用多元素標(biāo)準(zhǔn)溶液對(duì)儀器整體性能進(jìn)行測(cè)試，如果儀器靈敏度能達(dá)到預(yù)期水平，則儀器不再需要調(diào)整，如果靈敏度偏低，則需要調(diào)節(jié)載氣流量，錐孔位置和透鏡電壓等參數(shù)。
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